Датчик MEMS (Micro Electro Mechanical System) - это микроустройство, которое интегрирует микромеханические структуры, датчики, приводы и схемы обработки сигнала на одном и том же чипе с использованием технологии микроизготовления полупроводников. Его основными характеристиками являются небольшой размер, легкий вес, низкое потребление энергии, низкая стоимость, высокая надежность и легкое массовое производство. Он может преобразовать физические сигналы, такие как давление, ускорение, угловая скорость, звук, магнитное поле и т.д., в электрические сигналы для достижения точного измерения.
Особенности:
1. Миниатюризация: Размер обычно в диапазоне миллиметров или даже микрометров, и вес крайне легкий.
2. Низкое потребление энергии: рабочий ток в основном уровень микроампер, подходящий для оборудования, работающего на батареях.
3. Низкая стоимость: способный к массовому производству, хорошей последовательности и чрезвычайно низкой цене на единицу для крупномасштабных приложений.
4. High integration: easy to integrate with signal processing circuits MCU、 Single chip integration of wireless modules and other components.4. Высокая интеграция: легко интегрировать с схемами обработки сигнала MCU 、 Единочипная интеграция беспроводных модулей и других компонентов.
5. Высокая надежность: кремниевые материалы имеют отличные механические свойства, нет механического износа, и сильные сейсмические и анти-помехи возможности.
6. Мультипараметрное датчикование: может интегрировать несколько датчиков (IMU), таких как ускорение, гироскоп, магнитометр, давление и т. д. на одном чипе
Приложения:
1. Инерционные датчики (акселерометр, гироскоп, ИМУ)
Принцип: Используйте емкость или пьезорезистивный эффект для обнаружения смещения внутренних массовых блоков.
Применение: потребительская электроника: вращение мобильного экрана, шагометр, отслеживание позы VR / AR, стабилизация камеры.
Автомобиль: запуск подушки безопасности, система стабильности кузова (ESP), мониторинг давления в шинах.
Промышленность/авиация: навигация с дроном, балансирование роботов, инерционные навигационные системы (INS).
2. Датчик давления
Принцип: Давление вызывает деформацию кремниевой диафрагмы, изменяя ее внутреннее сопротивление или емкость.
Применение:
Автомобиль: Входное давление двигателя, мониторинг давления в шинах (TPMS).
Медицина: мониторинг кровяного давления, контроль давления вентилятора.
Промышленность: контроль процессов, измерение уровня жидкости.
3. Микрофон (микрофон MEMS)
Принцип: Звуковое давление вызывает вибрацию микродиафрагмы, меняя ее емкость и выдавая электрический сигнал.
Приложения: Смартфоны, наушники TWS, умные динамики, ноутбуки.
4. Магнитометр (электронный компас)
Принцип: обнаружить изменения магнитного поля и измерить направление.
Приложения: Мобильная навигация, ориентация дронов, наружные портативные устройства.
5. Микрозеркало (оптический МЕМС)
Принцип: электростатическое отклонение микролинзы.
Применения: LiDAR, проекторы, оптические коммутаторы связи
