Высокая стабильность, высокая точность и высокая производительность
Передовая многосоединительная конструкция роботизированной руки
Высокоскоростная функция синтеза
Нет требуемой оси путешествия、Поддерживает 4 порта нагрузки на ряд
Атмосферные роботы
Атмосферные роботы в основном используются в фронт-энд модулях полупроводникового процессного оборудования или процессного оборудования. Используется в EFEM или атмосферном транспорте в модулях процесса, таких как диффузионное оборудование, оборудование для очистки, оборудование для обнаружения, оборудование CMP и т.д.
Наши атмосферные роботы обладают характеристиками высокой точности и стабильности и могут предоставлять индивидуальные услуги на основе реальных потребностей клиентов.
